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上海2026年11月6日 美通社 -- 10月27日至29日,NEPCON ASIA 2026亚洲电子生产设备暨微电子工业展览会在深圳国际会展中心(宝安)举行。富士胶片(中国)投资有限公司携压力定量化整体解决方案亮相测试与测量展区,重点展示面向半导体封装、电子制造等领域的压力定量化解决方案专为12英寸晶圆设计的圆形压力测量胶片“圆形 Prescale”、压力图像分析装置“Prescale Station”,并同步展出新品动态压力传感系统“Prescale Motion”,覆盖从静态显色读取到动态压力监测的检测需求。
圆形Prescale:匹配晶圆形状,省去裁剪环节
在传统晶圆键合压力检测中,工程师常需将矩形压力测量胶片手工裁成圆形,既费时,也容易造成边缘误差或污染胶片表面。本次展出的“圆形 Prescale”专为半导体制造中主流的12英寸(φ300mm)晶圆形状设计,可直接握持手柄放入键合头与晶圆之间施压,无需裁剪。受压后胶片呈现深浅不同的红色,压力分布清晰可辨;配合“Prescale Mobile”或“Prescale Station”,可进一步转为数值数据。
典型适用场景包括:晶圆键合机压力均匀性评估、芯片贴装吸嘴贴附精度校验、封装贴合设备压力可靠性验证、电路板层压工艺压合质量核验、热压工序检测等等。
Prescale Station:面向晶圆尺寸的一体化压力检测系统
与“圆形 Prescale”配套展出的是压力图像分析装置“Prescale Station”。设备内置高分辨率FA相机与LED光源;采用遮光结构,以提升复杂光线环境下检测的稳定性和效率;该装置共有A3与A4两种尺寸,其中A3款可完整覆盖12英寸晶圆。
系统可输出压力分布图及最大值、最小值、平均值等分析结果,并支持按客户标准预设阈值进行压力的自动合格判定;单次最多配置35个检测区域,实现多区域并行分析,可帮助减少人工判断偏差,统一多厂区检测标准。读取图像、分析图像、压力分布图及测量结果均可保存,便于检测历史管理、质量保证文件制作,有助于强化制造现场的质量管理体系。
动态压力传感系统Prescale Motion:可实时检测动态压力
本次展会上同时展出了即将发售的动态压力传感系统“Prescale Motion”。该系统由专用面压传感器与安装了“Prescale Mobile”的移动终端组合而成,可实时显示从加压开始到结束压力变化的全过程,与静态压强数据结合后,可用于工序异常时间与位置排查。在工业制造场景中,针对需要观察“加压过程”而非仅“最大加压值”的环节,该动态数据可作为静态检测方案的补充。
“耗材+软件+硬件”协同的定量化矩阵
除以上三款重点产品外,展台还同步呈现了压力测量胶片“Prescale”系列的其他产品,以及移动端应用“Prescale Mobile”。通过“耗材+软件+硬件”组合,无论是研发验证还是量产抽检,都能快速完成压力记录与留存。
富士胶片自1977年推出压力测量胶片以来,持续以精密涂布与图像处理技术拓展检测产品。面向半导体封装、电子制造等场景对良率、一致性、可追溯性的要求提升,公司将继续完善从胶片到分析装置的定量化工具链,助力制造现场数字化与质量管理体系建设。
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